Oberflächenanalyse

AFM A. Jung
Atomic Force Microscope (AFM)

Zur Analyse der Probenoberflächen hauptsächlich von Dünnschichtproben aus den PLD oder CSD - Laboren steht folgende Analytik zur Verfügung:

  • Dimension Edge Atomic Force Microscope (Bruker), der X-Y Scanbereich beträgt 90x90 µm, die maximale z - Auslenkung ist 10 µm bei einem Fehler von maximal 0,2 nm. Der Sichtbereich der Kamera umfasst 180 bis 1465 µm, der Fokus ist motorisiert.
  • Profilometer